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退火炉的分类及特点

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退火炉的分类及特点

发布日期:2022-06-25 作者: 点击:

退火炉是一种用于制造半导体器件的过程,包括加热多个影响其电气性能的半导体晶片。根据不同的效果设计了热处理。晶片可加热激活掺合剂,将薄膜转化为薄膜或将薄膜转化为晶片衬底界面,使密集沉积膜改变生长膜状态,修复注入损伤,挪动掺合剂或将掺合剂从一膜转化为另一膜或从膜转化为晶圆衬底。

退火炉可集成到空气氧化到其它炉灶处理步骤中,也可自行处理。退火炉是由专门为加热半导体晶片而设计的设备完成的。退火炉是一种采用纤维结构、节电60%的节能型周期性作业炉。




大拉退火装置

卧式真空退火炉

用途

本系列卧式真空退火炉主要适用于特种纤维、不锈钢板、硒钢片铁芯、贵金属零部件、银铜复合铆钉及片件的真空退火处理。


设备特点

1.本设备专用于小零件等在真空环境下的退火

2.炉罐密封性能好,合理有效的避免了工件在退火处理里的高温氧化、腐蚀生锈,增强了处理质量

3.保温炉体可往后挪动,退火完成后,在维持真空环境下提升冷却速度



井式真空退火炉

用途

井式真空退火炉

采用预真空包装气体?;さ木秸婵胀嘶鹇盗胁?。在操作过程中,首先将炉子抽到一定的真空度,然后将高纯氮或氨分解气体填充到炉子中进行?;ず图尤?,从而达到没有空气氧化和加热的目的。由于搅拌风机的使用,该炉具有较高的炉温均匀性。设备主要适用于机械零件、硅钢片、铜材、紫铜、线材等的无空气氧化光亮退火。


设备特点

1、加热元件均布炉膛内,分布情况合理

2、炉盖可配有热风循环设备,能够让炉罐内的气体及环境温度均匀分布

3、可配真空泵抽出气体,增多通气速率,气体更加纯净,无杂质

4、有?;て?,经退火后产品无空气氧化,清除生产加工压力,提升铁心磁性能,减少铁损

5、炉温控制采用PID自动调功平滑控温


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